晶圆光刻胶
所属分类: 高端晶圆光刻胶产品
产品详情
| 产品 | 产品介绍 | 关键机能描述 |
| KrF光刻胶 | KrF光刻胶是以氟化氪(KrF)激光(波长248nm)为曝光光源的光刻胶,,,,,,,,由成膜树脂、光酸、溶剂及助剂等配造而成,,,,,,,,拥有高分辨率、耐刻蚀蹬着点,,,,,,,,重要利用于0.13μm以上线宽的半导体光刻工艺。。。。。。。公司目前已开发的KrF光刻胶产品合用工艺蕴含Poly、AA、Metal、Implant、Contact Hole、Via等,,,,,,,,利用领域蕴含存储,,,,,,,,逻辑以及CIS特色工艺(深邃宽迸爪用)。。。。。。。 | 膜厚100-5000nm CD ≥120 nm |
| ArFi光刻胶 | 浸没式ArF光刻胶是以氟化氩(ArF)激光(波长193nm)为曝光光源的光刻胶,,,,,,,,重要用于45nm以下集成电路造作技术节点。。。。。。。公司已开发的浸没式ArF 光刻胶产品蕴含正显影(PTD)和负显影(NTD)两类,,,,,,,,合用工艺蕴含Poly、Metal、Contact Hole、Via等,,,,,,,,利用领域涉及存储(3D NAND, DRAM)和高机能逻辑器件。。。。。。。 | 膜厚50-200nm CD ≥37.5 nm |
关键词:晶圆光刻胶
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晶圆光刻胶
晶圆光刻胶是半导体光刻造程中最关键的主题资料。。。。。。。在光刻过程中,,,,,,,,光刻胶经涂膜、前烘、曝光、后烘、显影等步骤后可将电路图形由掩模版转移到光刻胶上,,,,,,,,再经刻蚀工艺实现电路图形转移到硅片上。。。。。。。随着集成电路线宽缩幼、集成度的提升,,,,,,,,光刻胶开发技术难度大幅增长,,,,,,,,成为一连摩尔定律的关键技之一。。。。。。。
有关产品
集成电路资料
CMP造程资料
半导体先进封装
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封装光刻胶
ghi线曝光;;;;;<br> 分辨率5μm~10μm;;;;;<br> 覆盖高/低温固化PSPI;;;;;<br> 膜厚5μm~15μm;;;;;<br> 固化温度200℃~400℃;;;;;<br> 具备优异的电学、力学机能和Cu附着力
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一时键合胶
常温、低压力键合;;;;;<br> 极强的耐高温能力;;;;;<br> 300℃持久耐温>1.5h;;;;;<br> 可机械、激光解键合(248nm/308nm/355nm)
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晶圆级绝缘钝化层资料
晶圆级钝化层PI/PSPI,,,,,,,,是在晶圆级封装(WLP)工艺中利用的关键资料。。。。。。。通过旋涂、曝鲜明影形成图形化保唬;;;げ。。。。。。。经高温固化后,,,,,,,,为芯片表表提供优异的钝化保唬;;;ず陀α撼,,,,,,,,有效提高器件靠得住性。。。。。。。
半导体显示资料
OLED
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YPI
粘度4000cP~7000cP;;;;;<br> 固含量10%~20%;;;;;<br> 膜厚5μm~15μm固化温度450℃~480℃;;;;;<br> 1%失沉温度>560℃;;;;;<br> 具备优异的力学光学机能
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PSPI
ghi线曝光;;;;;<br> 分辨率2μm~3μm;;;;;<br> 覆盖高/低感光度PSPI;;;;;<br> 膜厚1μm~5μm;;;;;<br> 固化温度250℃~280℃;;;;;<br> 具备优异的光学、力学机能
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TFE INK
粘度20cP~22cP;;;;;<br> 水分<50ppm;;;;;<br> 395nmUV固化;;;;;<br> 膜厚6μm~15μm;;;;;<br> 具备优异的光学机能
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BPDL
分辨率5μm;;;;;<br> 粒径50~70nm;;;;;<br> 固化温度250℃~280℃;;;;;<br> 膜厚1μm~5μm;;;;;<br> OD(光密度)>1/μm
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无氟PSPI
ghi线曝光;;;;;<br> 分辨率2μm~3μm;;;;;<br> 覆盖高/低感光度PFAS free PSPI;;;;;<br> 膜厚1μm~5μm;;;;;<br> 固化温度250℃~280℃;;;;;<br> 具备优异的光学、力学机能
MICRO-LED
锂电高端职能性辅材
职能助剂
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润湿分散剂HFW-118
1、造浆效能提升10-20%;;;;;<br> 2、涂布表观显著改善。。。。。。。
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碳源分散剂HFF-1176
1、浆料固含提升5-6%;;;;;研磨效能提升20%;;;;;<br> 2、碳含量一样下,,,,,,,,粉阻幼于10.
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分散剂HFF-2808
1、提高浆料固含量:3-6个点;;;;;<br> 2、降低辊压:降低20%;;;;;<br> 3、改善柔性:1次以上;;;;;<br> 4、提升压实:0.03-0.05
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分散剂HFF-29XX系列
1、适配性强:可适配分歧工艺路线LFP和分歧类型PVDF;;;;;<br> 2、降粘提固稳粘:LFP浆料固含提高至65%以上,,,,,,,,浆料粘度维持不变反弹。。。。。。。唬;;;<br> 3、极片压实提升0.03-0.1%;;;;;柔性提升20-30%。。。。。。。
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防开裂助剂HFW-110
1、适配80m/min以上快涂工艺;;;;;<br> 2、抗开裂成效提升20-30%,,,,,,,,极片良率提升。。。。。。。
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