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| ²úÆ· | ²úÆ·½éÉÜ | ·ÖÀà | ¹Ø¼ü»úÄÜÃèÊö |
| DP53XX¡¢DP55XX¡¢DP59XXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖжྦྷ¹èµÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓµÓи߶ྦྷ¹èÈ¥³ýËٶȣ¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßÏ¡Êͱȡ¢µÍȱµãÂʵÄÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£²úÆ·ÒѾÔÚ´æ´¢Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣡ£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ¶à¾§¹èÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿4%-20%£»£»£» £»£»£»£» Á£¾¶£º60-200 nm£»£»£» £»£»£»£» Poly/OXÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
| DP54XX¡¢DP56XX¡¢DP58XXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖжೡ¾°µÄµª»¯¹è±¡Ä¤È¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓµÓеúÐÎЧӦ½¨¸´ÄÜÁ¦Ç¿£¬£¬£¬£¬£¬£¬Õ¤¼«¸ß¶È¾«×¼½ÚÔìµÄÀûÒ棬£¬£¬£¬£¬£¬ÔÚÂß¼Æ÷¼þÔì×÷ÖÐ¿í·ºÀûÓᣡ£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | µª»¯¹èÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿2%-20%£»£»£» £»£»£»£» Á£¾¶£º50-100 nm£»£»£» £»£»£»£» SiN/OXÒƳýÑ¡Ôñ±ÈÊÊÖÐ |
| ZXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖнéµç²ã×ÊÁÏ£¨Ñõ»¯¹è£©µÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓµÓиßÈ¥³ýËٶȣ¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßÏ¡Êͱȡ¢µÍȱµãÂʵÄÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£²úÆ·ÒѾÔÚ´æ´¢Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣡ£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ½éµç×ÊÁÏÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿3%-20%£¬£¬£¬£¬£¬£¬ Á£¾¶80-150nm£¬£¬£¬£¬£¬£¬ OX±¡Ä¤ÒƳýÂÊ¸ß |
| DP6XXXϵÁÐ | ÔÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷ÖУ¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓÃÓÚ¹èƬ±í±í»¯Ñ§»úеÅ×¹â(CMP)£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓÐÈ¥³ýËٶȸߣ¬£¬£¬£¬£¬£¬±í±íȱµãÂʵ͵ÄÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ¹è³Äµ×Å×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿2%-20%£»£»£» £»£»£»£» Á£¾¶£º50-100 nm£»£»£» £»£»£»£» SiÒƳýÂʸߣ»£»£» £»£»£»£» ¾§Ô²È±µãÂÊµÍ |
| DW6XXXϵÁÐ | ´îÔØ×Ô²úÑõ»¯ÂÁÑÐÄ¥Á£×Ó£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓÃÓÚÂß¼Æ÷¼þÔì×÷¹¤ÒÕÖнðÊôÎÙÕ¤¼«×ÊÁϵÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓµÓиßƽչ»¯Ð§ÄÜ£¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßÑ¡Ôñ±È£¬£¬£¬£¬£¬£¬µÍȱµãÂʵÄÌص㣬£¬£¬£¬£¬£¬ÒÑÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣡ£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÎÙÕ¤¼«Å×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.01%-0.3%£¬£¬£¬£¬£¬£¬ Á£¾¶60-120nm£¬£¬£¬£¬£¬£¬W£¬£¬£¬£¬£¬£¬TiN£¬£¬£¬£¬£¬£¬OX ÒƳýÂʾù¿ÉÂú×㶨Ô컯ÐèÒª£¬£¬£¬£¬£¬£¬W/OX ÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
| DW3XXX¡¢DW5XXXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖнðÊôÎÙ×ÊÁϵÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬Ñ¡Ôñ±È¿É¿Ø£¬£¬£¬£¬£¬£¬Âú×ãÑ¡Ôñ±È¶¨ÔìÐèÒª£¬£¬£¬£¬£¬£¬µÍȱµãÂÊ£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÒѾÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣡ£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÎÙÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿1%-10%£¬£¬£¬£¬£¬£¬ Á£¾¶60-100nm£¬£¬£¬£¬£¬£¬ W£¬£¬£¬£¬£¬£¬TiN£¬£¬£¬£¬£¬£¬OX ÒƳýÂʾù¿ÉÂú×㶨Ô컯ÐèÒª£¬£¬£¬£¬£¬£¬W/OX ÒƳýÑ¡Ôñ±ÈÊÊÖÐ |
| DBϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷Í»¥Á¬¹¤ÒÕÖз´¶Ô²ãµÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬Ñ¡ÔñÐÔÅ×¹âÍÓë·´¶Ô²ã£¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßƽ̹¶È¡¢µÍȱµã£¬£¬£¬£¬£¬£¬µÍÇÖÊ´»òµúÐΰ¼ÏÝ¡£¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | Í·´¶Ô²ãÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿5~25%£¬£¬£¬£¬£¬£¬ Á£¾¶20-150nm£¬£¬£¬£¬£¬£¬Cu£¬£¬£¬£¬£¬£¬OX£¬£¬£¬£¬£¬£¬BD£¬£¬£¬£¬£¬£¬Ta£¬£¬£¬£¬£¬£¬TaN£¬£¬£¬£¬£¬£¬SiNµÈ±¡Ä¤ÒƳýÂÊ¿Éƾ¾ÝÐèÒª¶¨Ôì |
| DCϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖнðÊô͵ÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓµÓиßÈ¥³ýËٶȣ¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßÏ¡Êͱȣ¬£¬£¬£¬£¬£¬µÍȱµãµÈÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÍÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.5%-2%£¬£¬£¬£¬£¬£¬Á£¾¶30-120nm£»£»£» £»£»£»£»CuÒƳýÂʸߣ»£»£» £»£»£»£»Cu/OXÒƳýÑ¡Ôñ±ÈµÍ |
| ZAϵÁÐ | ´îÔØ×Ô²úÑõ»¯ÂÁÑÐÄ¥Á£×Ó£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖнðÊôÂÁÕ¤¼«×ÊÁϵÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯½¨¸´£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓµÓиßƽչ»¯Ð§ÄÜ£¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßÑ¡Ôñ±È£¬£¬£¬£¬£¬£¬µÍȱµãÂʵÄÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£²úÆ·ÒѾÔÚÂß¼Æ÷¼þÔì×÷ÖÐʹÓᣡ£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ÂÁÕ¤¼«Å×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.5%-2%£¬£¬£¬£¬£¬£¬Á£¾¶60-120nm£¬£¬£¬£¬£¬£¬Al £¬£¬£¬£¬£¬£¬TiN£¬£¬£¬£¬£¬£¬OXµÈ±¡Ä¤ÒƳýÂÊ¿Éƾ¾ÝÐèÒª¶¨Ô죬£¬£¬£¬£¬£¬Al/OX ÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
| DSϵÁÐ | ´îÔØ×Ô²úÑõ»¯îæÑÐÄ¥Á£×Ó£¬£¬£¬£¬£¬£¬ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖнéµç²ã×ÊÁÏ£¨Ñõ»¯¹è£©µÄÈ¥³ýºÍƽչ»¯£¬£¬£¬£¬£¬£¬STI½á¹¹µÄ¹¹½¨ÖС£¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ÓµÓиßÑõ»¯¹èÈ¥³ýËٶȣ¬£¬£¬£¬£¬£¬¸ßƽչ»¯Ð§ÄÜ¡¢µÍµúÐÎЧӦ¡¢µÍȱµãÂʵÄÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | Ñõ»¯îæÅ×¹âÒº | ¹Ìº¬Á¿0.5%-5%£¬£¬£¬£¬£¬£¬Á£¾¶80-150nm£¬£¬£¬£¬£¬£¬OXÒƳýÂÊ¿Éƾ¾ÝÐèÒª¶¨Ô죬£¬£¬£¬£¬£¬OX/SiNÒƳýÑ¡Ôñ±È¸ß |
| DLSϵÁÐ | CMP slurryÖеÄÖ÷ÌâÔÁÏ£¬£¬£¬£¬£¬£¬½ðÊôÔÓÖʺ¬Á¿µÍ£¬£¬£¬£¬£¬£¬¿í·ºÓÃÓÚÇ°¶Î¹¤ÒÕ¼°¸ßÒªÇóµÄ½ðÊô»¥Á¬¹¤ÒÕ¡£¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ÓµÓÐÓ²¶ÈµÍ£¬£¬£¬£¬£¬£¬¾§Ô²È±µãÂʵ͵ÄÌص㡣¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ³¬´¿¹èÄ¥ÁÏ | ¹Ìº¬Á¿15%-21%£¬£¬£¬£¬£¬£¬Á£¾¶35-180nm£»£»£» £»£»£»£»pH 6.5~8.6£»£»£» £»£»£»£»¸÷Ïî½ðÊôÔÓÖÊ£¼20ppb£»£»£» £»£»£»£»¿É¶©ÔìÄ¥ÁÏ¿ÅÁ£Ëù´øµçºÉ |
| DLSBϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³Éµç·Ôì×÷¹¤ÒÕÖи÷Ôì³ÌÖÐslurryÉè¼Æ£¬£¬£¬£¬£¬£¬Ìṩ»úеÑÐÄ¥Á¦ÒÔ¼°»¯Ñ§×é·ÖÎü¸½Î»µã£¬£¬£¬£¬£¬£¬¿ÉÓÃ×÷¼±¾çÈ¥³ýÓëÑ¡Ôñ±È½ÚÔì¸ßµÄ³¡¾°¡£¡£ ¡£¡£¡£¡£¡£¡£ | ¸ß´¿¹èÄ¥ÁÏ | ¹Ìº¬Á¿20-50%; Á£¾¶20~150nm; pH 8~11;ĪÊÏÓ²¶È~6 |
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Õ³¶È20cP~22cP£»£»£» £»£»£»£»<br> Ë®·Ö£¼50ppm£»£»£» £»£»£»£»<br> 395nmUV¹Ì»¯£»£»£» £»£»£»£»<br> Ĥºñ6¦Ìm~15¦Ìm£»£»£» £»£»£»£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄ¹âѧ»úÄÜ
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MICRO-LED
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